要在潔凈室中使用的設備，在可能時(shí)應該在潔凈條件下制造，其包裝程序也應該應潔凈室內的要求。把設備送入潔凈室的過(guò)程不應增加對環(huán)境的污染。進(jìn)入“空態(tài)”或“靜態(tài)”潔凈室的設備應該正確地拆包、清潔，否則以后要做大量的潔凈工作。特別應該注意的是設備進(jìn)入“動(dòng)態(tài)”潔凈室前應該考慮的問(wèn)題。這不僅會(huì )使潔凈室處于污染的風(fēng)險中，還會(huì )危及工藝過(guò)程中的產(chǎn)品，同樣要求大量的潔凈工作，而且還要按ISO 14644-2重新認證潔凈室。應該制定適當的策略，避免出現上述問(wèn)題。

安裝設備的有效方法是把設備與潔凈室環(huán)境的其余部分隔離開(kāi)，用臨時(shí)的隔離墻或隔斷設備周?chē)?，設備周?chē)舫鲎銐虻目臻g，保證不妨礙設備的安裝。

1）如果可能就通過(guò)服務(wù)通道或其它非關(guān)鍵區進(jìn)入隔離區。如果不可能，應采取措施盡量減少由結構造成的污染。流向該隔離區的氣流應該保持中性壓力或負壓，避免氣流強制流出工作區帶來(lái)污染的可能性。

2）完全密封的隔離區不應從內部加壓，否則污染可能會(huì )穿透屏障，影響周?chē)臐崈羰?。隔離區內應該阻斷潔凈空氣的送風(fēng)，避免給周?chē)臐崈羰以斐蓧毫Α?如果只有通過(guò)相鄰的潔凈室才能進(jìn)入隔離區，應該采用粘性墊，除掉鞋子上帶的污染。進(jìn)入隔離區后，可能要求用一次性靴子或鞋套來(lái)避免污染潔凈服。離開(kāi)隔離區前要把這些一次性物品脫下。

3）應該制定監控隔離區周?chē)鷧^域的方法和頻率，確保能檢測出任何滲漏進(jìn)相鄰潔凈室內的污染。

4）然后，架設各種動(dòng)力設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣何廢水管道。應該注意對這些作業(yè)產(chǎn)生的煙氣和殘物盡可能全部加以控制和包納，避免由于疏忽而弄到周?chē)臐崈羰覂?，這也有助于拆除隔離屏障前能有效的清潔。

5）然后應該采用認可的潔凈程序清除整修隔離區的污染。所有表面都要真空清潔、擦拭和清理，包括所有的墻、固定的和便捷式的設備及地面。

6）要特別注意設備護板后面和設備下面區域的清潔。

7）現在可以作一些內部的準備工作和設備性能的初步測試，但最后驗收的測試要求完全具備潔凈室條件才行。

8）現在可以小心地拆除隔離墻，經(jīng)過(guò)過(guò)濾的空氣可以接入送風(fēng)。進(jìn)行這一步的時(shí)間應該仔細地選定，盡量減少對潔凈室內正常工作的干擾。還可要求作粒子測量或測試。

9）設備內部和關(guān)鍵的加工小室應該在正常的潔凈室條件下進(jìn)行清潔和投入使用的準備工作。

10）對所有適當的內腔室和所有與產(chǎn)品接觸或涉及產(chǎn)品傳遞的表面都要進(jìn)行擦拭，達到要求的潔凈度級別。設備的清潔程序應該是從頂到底，因為如果有粒子散布，較大的粒子會(huì )因重力而落到設備的底部或地面上。

11）清潔設備外部，順序也是從頂到底。

12）必要時(shí)，應該檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵的區域的表面粒子情況。